产品中心
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化学机械抛光机
适用范围：化学机械抛光机用于工艺和产品开发。该平台可提供多种抛光工艺来优化产品开发。包括广泛的速度范围、闭环加载力控制、多功能晶圆夹具和自动浆料输送系统。化学机械抛光机在抛光过程中可以监测多个在线信号... -
气流喷砂冲蚀试验机
适用范围：气流喷砂冲蚀试验机可进行重复冲击测试。试验机使用装有磨料砂粒的气体，可在一定温度下(高达900C)对样品进行冲蚀试验，具有温度闭环控制。试验机通过将样品暴露于不同形状、大小、温度和冲击速度的... -
白光干涉仪
适用范围：白光干涉仪具有精确的垂直测量范围、精确的载物台，可测量多种样品的粗糙度、台阶高度、薄膜厚度和进行形貌分析。经济实惠高精确度全自动光学显微镜亚纳米分辨率非接触式形貌测量，高分辨率：白光干涉测量... -
高端三维光学形貌仪
适用范围：高端三维光学形貌仪具有优越的技术性能、分辨率和多功能性，其高速扫描和高分辨率，为表面测试提供多种解决方案。多种模式为一体共聚焦+白光干涉+暗场+明场+变焦从多种材料获得三维形貌：同一平台上多... -
三维光学形貌仪
适用范围：三维光学形貌仪具有高速扫描、多种成像技术和高分辨率，为大范围样品表面成像提供解决方案。6合1成像分析：白光干涉+共聚焦+光谱膜厚+亮、暗场+变焦+AFM同一平台上多个光学器件的6合1组合允许... -
材料表面性能综合测试平台
适用范围：材料表面性能综合测试平台可表征材料的机械性能，例如硬度、模量、划痕附着力、薄膜厚度，以及表面粗糙度和许多其他性能，仅用一个平台就能满足全部。IST模块可提供压痕和划痕复合测试功能，同时结合压...